1: 動物園φ ★ 2019/07/22(月) 18:03:40.72 ID:CAP_USER （抜粋） 22日、特許庁特許情報検索サービス（KIPRIS）によると、超高純度フッ化水素を製造する 国内技術が1件特許登録されている。中小企業A社が2011年7月に登録した技術である。A社は 半導体のエッチング（腐食加工）工程のフッ化水素の製造技術を実験的に証明した。 特許庁は審査後にこの技術に特許を付与し、2013年1月に公開した。 この技術は、半導体のエッチング処理に適した超高純度フッ化水素を得るために、 超音波バイブレーターを活用した。純度が低いフッ化水素中に混ざっている不純物を 除去するために、添加剤である過酸化水素などを入れて超音波処理をした。 6つの方法で実験した結果、特定の実験では、フッ化水素中の不純物の割合は、少なくとも10億分の1以上、 最大100億分の1以下まで下がった。半導体プロセスに使うことができる純度99 .999999999％以上のフッ化水素を 抽出したのだ。業界関係者は、「通常、100億分の1から1000億分の